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UOT产品系列

QAM Series

2019-07-09 17:56:23 发布者:爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司 89
简介

QAM 系列镀膜设备是一种用于研究开发的精密溅射镀膜机,可用于各种基板上成膜包括磁性材料,超晶格薄膜的溅射镀膜制成

产品详情


  设备技术

  低溅射工艺环境,能在较低压力下进行溅射成膜(持续放电压力1~0.1Pa)

  阴极可以安装各种靶材和磁性材料的靶材

  多组分共成膜/多层成膜

  倾斜入射的溅射过程,实现良好的膜层均匀性/稳定性